对于大多数清洁空间,为了防止外部污染的侵入,有必要保持内部压力(静态压力)高于外部压力(静态压力)。保持压差通常应符合以下原则:
1.清洁空间中的压力高于非清洁空间中的压力。
2.清洁度高的空间中的压力高于清洁度低的空间中的压力。
3.洁净室之间的门应打开至洁净度较高的房间。
压力差的维持取决于新鲜空气的量。在这个压力差下,新的空气量需补偿从间隙泄漏的空气量。因此,压差的物理含义是当气流的泄漏(或渗透)穿过洁净室的各个间隙时的阻力。
而气流速度是指洁净室中的气流速度,在讨论特定设备时将说明其他洁净空间中的气流速度。对于湍流的洁净室,由于主要主要依靠稀释空气来减少室内污染程度,所以主要采用换气次数的概念代替速度的概念,但是室内空气流速还具有以下要求;
(1)供气口出口处的气流速度不应太大。与空调房间相比,速度衰减更快,扩散角更大。
(2)气流速度(例如传送侧面时的再循环速度)不应太大,以免表面颗粒返回气流并造成再次污染。该速度通常不适用于0.2m/s的较大干燥度。
对于平行流洁净室“以前被称为层流洁净室”,横截面上的速度是非常重要的指标,因为活塞被气流挤压以消除染色。过去使用美国20gB标准。它使用0.45m/s。但是人们也知道,如此大的速度所需的通风非常大。为了节省能源,它还在探索降低一速行驶速度的可行性。